Yiyan didan-ẹrọ-kemikali (CMP) nigbagbogbo ni ipa pẹlu iṣelọpọ awọn ipele didan nipasẹ iṣesi kemikali, ni pataki awọn iṣẹ ni ile-iṣẹ ti iṣelọpọ semikondokito.Lonnmeter, olupilẹṣẹ ti o ni igbẹkẹle pẹlu diẹ sii ju ọdun 20 ti oye ni wiwọn ifọkansi inline, nfunni ni-ti-ti-aworanawọn mita iwuwo ti kii ṣe iparunati awọn sensọ viscosity lati koju awọn italaya ti iṣakoso slurry.
Pataki ti Slurry Didara ati Lonnmeter ká ĭrìrĭ
slurry polishing darí kemikali jẹ ẹhin ti ilana CMP, ti npinnu iṣọkan ati didara awọn ipele. Aisedede slurry iwuwo tabi iki le ja si abawọn bi bulọọgi-scratches, uneven ohun elo yiyọ, tabi paadi clogging, compromising didara wafer ati jijẹ gbóògì owo. Lonnmeter, oludari agbaye kan ni awọn ipinnu wiwọn ile-iṣẹ, amọja ni wiwọn slurry inline lati rii daju iṣẹ slurry to dara julọ. Pẹlu igbasilẹ orin ti a fihan ti jiṣẹ igbẹkẹle, awọn sensọ pipe-giga, Lonnmeter ti ṣe ajọṣepọ pẹlu awọn aṣelọpọ semikondokito lati mu iṣakoso ilana ati ṣiṣe ṣiṣẹ. Awọn mita iwuwo slurry ti kii ṣe iparun ati awọn sensosi iki pese data akoko gidi, mu awọn atunṣe to peye lati ṣetọju aitasera slurry ati pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito ode oni.
Ju ọdun meji ti iriri ni wiwọn ifọkansi inline, igbẹkẹle nipasẹ awọn ile-iṣẹ semikondokito oke. Awọn sensọ Lonnmeter jẹ apẹrẹ fun isọpọ ailopin ati itọju odo, idinku awọn idiyele iṣẹ ṣiṣe.Tailored solusan lati pade awọn ibeere ilana kan pato, aridaju awọn ikore wafer giga ati ibamu.
Awọn ipa ti Kemikali Mechanical Polishing ni Semikondokito Manufacturing
Kemikali darí polishing (CMP), tun tọka si bi kemikali-darí planarization, ni a igun kan ti semikondokito ẹrọ, muu awọn ẹda ti alapin, free roboto fun to ti ni ilọsiwaju ërún gbóògì. Nipa apapọ etching kemikali pẹlu abrasion ẹrọ, ilana CMP ṣe idaniloju pipe ti o nilo fun awọn iyika iṣọpọ-ọpọlọpọ ni awọn apa ni isalẹ 10nm. Awọn ẹrọ didan polishing slurry kemikali, ti o ni omi, awọn reagents kemikali, ati awọn patikulu abrasive, ṣe ajọṣepọ pẹlu paadi didan ati wafer lati yọ ohun elo kuro ni iṣọkan. Bii awọn aṣa semikondokito ti dagbasoke, ilana CMP dojukọ idiju ti o pọ si, nilo iṣakoso to muna lori awọn ohun-ini slurry lati ṣe idiwọ awọn abawọn ati ṣaṣeyọri didan, awọn wafer didan ti o beere nipasẹ Awọn ipilẹṣẹ Semiconductor ati Awọn olupese Awọn ohun elo.
Ilana naa ṣe pataki fun iṣelọpọ awọn eerun 5nm ati 3nm pẹlu awọn abawọn to kere, eyiti o ṣe idaniloju awọn ipele alapin fun fifisilẹ deede ti awọn fẹlẹfẹlẹ atẹle. Paapaa awọn aiṣedeede slurry kekere le ja si atunṣe idiyele tabi pipadanu ikore.
Awọn italaya ni Abojuto Awọn ohun-ini Slurry
Mimu iwuwo slurry deede ati iki ninu ilana didan ẹrọ kemikali jẹ pẹlu awọn italaya. Awọn ohun-ini slurry le yatọ nitori awọn nkan bii gbigbe, fomipo pẹlu omi tabi hydrogen peroxide, dapọ aipe, tabi ibajẹ kemikali. Fun apẹẹrẹ, gbigbe patiku ni awọn toti slurry le fa iwuwo ti o ga julọ ni isalẹ, ti o yori si didan ti kii ṣe aṣọ. Awọn ọna ibojuwo ti aṣa bii pH, agbara-idinku ifoyina (ORP), tabi adaṣe nigbagbogbo ko pe, bi wọn kuna lati ṣe awari awọn ayipada arekereke ninu akopọ slurry. Awọn idiwọn wọnyi le ja si awọn abawọn, idinku awọn oṣuwọn yiyọ kuro, ati awọn idiyele ijẹẹmu pọ si, ti o fa awọn eewu pataki fun awọn aṣelọpọ ohun elo semikondokito ati awọn olupese iṣẹ CMP. Awọn iyipada akojọpọ lakoko mimu ati pinpin ni ipa lori iṣẹ ṣiṣe. Awọn apa iha-10nm nilo iṣakoso wiwọ lori mimọ slurry ati deede idapọ. pH ati ORP ṣe afihan iyatọ ti o kere ju, lakoko ti iṣe adaṣe yatọ pẹlu ti ogbo slurry. Awọn ohun-ini slurry ti ko ni ibamu le mu awọn oṣuwọn abawọn pọ si 20%, fun awọn ẹkọ ile-iṣẹ.
Awọn sensọ Inline Lonnmeter fun Abojuto Akoko-gidi
Lonnmeter koju awọn wọnyi italaya pẹlu awọn oniwe-to ti ni ilọsiwaju ti kii-iparun slurry mita atiiki sensosi, pẹlu inline mita viscosity fun awọn wiwọn iki inu ila ati mita iwuwo ultrasonic fun iwuwo slurry nigbakanna ati ibojuwo viscosity. Awọn sensọ wọnyi jẹ apẹrẹ fun isọpọ ailopin sinu awọn ilana CMP, ti o nfihan awọn asopọ boṣewa ile-iṣẹ. Awọn solusan Lonnmeter nfunni ni igbẹkẹle igba pipẹ ati itọju kekere fun ikole ti o lagbara. Awọn data akoko gidi n jẹ ki awọn oniṣẹ ṣiṣẹ lati ṣatunṣe awọn idapọpọ slurry daradara, ṣe idiwọ awọn abawọn, ati mu iṣẹ ṣiṣe didan ṣiṣẹ, ṣiṣe awọn irinṣẹ wọnyi jẹ pataki fun Itupalẹ ati Awọn Olupese Ohun elo Idanwo ati Awọn olupese Awọn ohun elo CMP.
Awọn anfani ti Abojuto Itẹsiwaju fun Imudara CMP
Abojuto itesiwaju pẹlu awọn sensọ inline Lonnmeter ṣe iyipada ilana ilana didan ẹrọ kemikali nipa jiṣẹ awọn oye iṣẹ ṣiṣe ati awọn ifowopamọ iye owo pataki. Wiwọn iwuwo slurry akoko gidi ati ibojuwo viscosity dinku awọn abawọn bi awọn fifa tabi didan ju nipasẹ 20%, ni ibamu si awọn ipilẹ ile-iṣẹ. Ibarapọ pẹlu eto PLC n jẹ ki iwọn lilo adaṣe adaṣe ati iṣakoso ilana, ni idaniloju awọn ohun-ini slurry duro laarin awọn sakani to dara julọ. Eyi nyorisi idinku 15-25% ninu awọn idiyele agbara, idinku akoko idinku, ati imudara isokan wafer. Fun Awọn ipilẹ Semiconductor ati Awọn olupese Awọn iṣẹ CMP, awọn anfani wọnyi tumọ si iṣelọpọ imudara, awọn ala ere ti o ga julọ, ati ibamu pẹlu awọn iṣedede bii ISO 6976.
Awọn ibeere ti o wọpọ Nipa Abojuto Slurry ni CMP
Kini idi ti wiwọn iwuwo slurry ṣe pataki fun CMP?
Iwọn iwuwo slurry ṣe idaniloju pinpin patiku aṣọ ati aitasera idapọmọra, idilọwọ awọn abawọn ati iṣapeye awọn oṣuwọn yiyọ kuro ni ilana didan ẹrọ kemikali. O ṣe atilẹyin iṣelọpọ wafer didara ga ati ibamu pẹlu awọn iṣedede ile-iṣẹ.
Bawo ni ibojuwo viscosity ṣe alekun ṣiṣe CMP?
Abojuto viscosity n ṣetọju ṣiṣan slurry deede, idilọwọ awọn ọran bii paadi paadi tabi didan aiṣedeede. Awọn sensọ inline Lonnmeter n pese data akoko gidi lati mu ilana CMP pọ si ati ilọsiwaju awọn ikore wafer.
Kini o jẹ ki awọn mita iwuwo slurry ti kii ṣe iparun Lonnmeter jẹ alailẹgbẹ?
Awọn mita iwuwo slurry ti kii ṣe iparun Lonnmeter nfunni ni iwuwo nigbakanna ati awọn wiwọn iki pẹlu iṣedede giga ati itọju odo. Apẹrẹ ti o lagbara wọn ṣe idaniloju igbẹkẹle ni ibeere awọn agbegbe ilana CMP.
Wiwọn iwuwo slurry akoko gidi ati ibojuwo iki jẹ pataki fun iṣapeye ilana ilana didan kemikali ni iṣelọpọ semikondokito. Awọn mita iwuwo slurry ti kii ṣe iparun Lonnmeter ati awọn sensosi viscosity pese Awọn iṣelọpọ Ohun elo Semiconductor, Awọn olupese Awọn ohun elo CMP, ati Awọn ipilẹ Semiconductor pẹlu awọn irinṣẹ lati bori awọn italaya iṣakoso slurry, dinku awọn abawọn, ati awọn idiyele kekere. Nipa jiṣẹ kongẹ, data akoko gidi, awọn solusan wọnyi mu imudara ilana ṣiṣẹ, rii daju ibamu, ati wakọ ere ni ọja CMP ifigagbaga. ṢabẹwoLonnmeter ká aaye ayelujaratabi kan si ẹgbẹ wọn loni lati ṣe iwari bii Lonnmeter ṣe le yi awọn iṣẹ didan ẹrọ kemikali rẹ pada.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-22-2025
